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FMA-A2000系列OMEGA電子質(zhì)量流量計(jì)／控制器性能出眾、 功能多樣、設(shè)計(jì)先進(jìn)、外形緊湊。FMA-A2000利用毛細(xì)管式熱感技術(shù)直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量。無需進(jìn)行溫度、壓力或平方根校正。FMA-A2300／2400系列配備LCD顯示屏，并且所有型號(hào)都提供線性0 ~ 5 Vdc和 4 ~ 20 mA輸出。
FMA-A2000測(cè)量0 ~ 100 SLM之間24個(gè)量程的氣體質(zhì) 量流量。要查看完整列表，請(qǐng)參閱下一頁的量程表。 FMA-A2000系列與大部分非腐蝕性氣體相容。建議用戶對(duì)照氣體相容性檢查接液材料。
OMEGA的質(zhì)量流量控制器利用內(nèi)部電磁比例閥控制質(zhì)量流量?？梢酝ㄟ^內(nèi)部電位器設(shè)定值或者通過0 ~ 5 Vdc外部源 提供指令信號(hào)。
規(guī)格
精度：滿量程的±1%（包括線性度）
重復(fù)性：滿量程的±0.15%或者更佳
量程比：100:1
響應(yīng)時(shí)間：5秒
氣體環(huán)境溫度：0 ~ 50°C (32 ~ 122°F)
溫度系數(shù)：每1°C為滿量程的0.05%或更佳
壓力系數(shù)：每psi為滿量程的0.01%或更佳
zui低壓力要求：
流量計(jì)：1英寸水柱
zui大流速為1 SLM的控制器：1 psi
流速大于20 SLM的控制器：20 psi
質(zhì)量流量控制器的壓差：<5 LPM，5 ~ 50 psi（標(biāo)準(zhǔn)）；>5 LPM，20 ~ 40 psi（標(biāo)準(zhǔn)）
氣體zui大壓力：
聚甲醛：250 psig
316不銹鋼：500 psig
泄漏完整性：1 x10-6 cc/min氦氣或更佳
接液部件：
標(biāo)配：聚甲醛、氟橡膠O形圈
選配：316不銹鋼、氟橡膠O形圈
連接口：? FNPT（標(biāo)配）；
?"壓合接頭（適用于所有不銹鋼型號(hào)流量計(jì)）
輸入／輸出連接口：9針sub-D連接器
控制信號(hào)：0 ~ 5 Vdc
控制閥：常閉電磁閥
輸出信號(hào)：線性0 ~ 5 Vdc（zui小負(fù)載1000 ?），4 ~ 20 mA（環(huán)路電阻500 ?）
安裝螺紋：
316不銹鋼殼體：6?32"螺紋
聚甲醛材料：#4/6自攻螺絲
輸入電源：
流量計(jì)：24 Vdc @ 150 mA、115 Vac和220 Vac（帶交流適配器）
控制器：24 Vdc @ 300 mA、115 Vac和220 Vac（帶交流適配器）
重量：1.25 kg (2.75 lb)（含電源）
外形尺寸：參見圖紙
量程表
|
代碼 |
SCCM |
代碼 |
SLM |
代碼 |
SLM |
|
0 |
0~10 |
6 |
0~1 |
14 |
0~35 |
|
1 |
0~20 |
7 |
0~2 |
15 |
0~40 |
|
2 |
0~50 |
8 |
0~5 |
16 |
0~45 |
|
3 |
0~100 |
9 |
0~10 |
17 |
0~50 |
|
4 |
0~200 |
10 |
0~15 |
18 |
0~55* |
|
5 |
0~500 |
11 |
0~20 |
19 |
0~60* |
|
— |
— |
12 |
0~25 |
20 |
0~65* |
|
— |
— |
13 |
0~30 |
21 |
0~70* |
|
— |
— |
— |
— |
22 |
0~75* |
|
— |
— |
— |
— |
23 |
0~100* |
訂貨信息：
|
型號(hào) |
說明 |
|
FMA-A21(*) |
不帶顯示屏的質(zhì)量流量計(jì)，可選量程范圍從0~10SCCM到0~100SLM |
|
FMA-A22(*)-SS-(**) |
不帶顯示屏的質(zhì)量流量控制器，帶控制閥，可選量程范圍從0~10SCCM到0~50SLM，316不銹鋼殼體 |
|
FMA-A23(*) |
帶顯示屏的質(zhì)量流量計(jì)，可選量程范圍從0~10SCCM到0~100SLM |
|
FMA-A24(*)-SS-(**) |
帶顯示屏的質(zhì)量流量控制器，帶控制閥，可選量程范圍從0~10SCCM到0~50SLM，316不銹鋼殼體 |
配件：
|
型號(hào) |
說明 |
|
FMA-200PWA |
備用插座式插接電源（90 ~ 260 Vac） |
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SSLK-14-14 |
316不銹鋼壓合接頭，1?? NPT，1??"外徑管 |
配備操作手冊(cè)、9針sub-D連接器、電源及NIST校準(zhǔn)（無數(shù)據(jù)點(diǎn)）。
* 請(qǐng)插入頁面頂部量程表中的量程代碼，湊齊訂購型號(hào)。
** 指定氣體、入口／出口壓力和溫度。
欲購可選316不銹鋼殼體儀表，請(qǐng)將后綴“-SS”添加到型號(hào)中（需付額外費(fèi)用）（1?4"壓合接頭為標(biāo)配）。對(duì)于FMA-A22與FMA-A24控制器，不銹鋼殼體是標(biāo)配。
注：所有指定的控制器流量范圍均針對(duì)20 psig時(shí)的氮?dú)饣蚩諝猓辉谟糜谄渌鼩怏w時(shí)，需要使用相關(guān)系數(shù)確定流量。
要獲得5測(cè)量點(diǎn)NIST校準(zhǔn)證書，請(qǐng)將后綴“-NIST5”添加到型號(hào)中（無額外費(fèi)用）。
要獲得10測(cè)量點(diǎn)NIST校準(zhǔn)證書，請(qǐng)將后綴“-NIST10”添加到型號(hào)（需付額外費(fèi)用）。
訂購示例：
FMA-A2316，帶顯示屏的質(zhì)量流量計(jì)，針對(duì)20 psig入口壓力和室溫的氮?dú)舛?zhǔn)，量程0 ~ 45 SLM。?P: 5 ~ 20 psi。
FMA-A2102-SS，316不銹鋼殼體質(zhì)量流量計(jì)，不帶顯示屏，量程0 ~ 50 SCCM。